静态阴极荧光系统 - 北京协同创新研究院
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静态阴极荧光系统

       基于扫描电镜的静态阴极荧光系统是在微纳米尺度下研究物质结构、光学特性、电子结构和动力学特性等的重要手段,在物理、微电子、化学、生命科学、地质、考古和环境等领域中具有广泛的应用。例如,在凝聚态物理领域采用阴极荧光光谱探测手段能够研究材料的电子结构及载流子动力学;在微电子制造领域,使用阴极荧光系统可以进行荧光检测并研究光电微纳器件及微机电系统的结构与光学性能之间的关系;在地质、考古以及太空探测领域使用阴极荧光系统能够对地质、陨石及外太空岩石样品进行年代分析及地理环境状态分析。此类仪器设备在科学研究和工业生产中均有重要的应用价值。

       本项目以扫描电镜为系统平台,由自主研发的电子束扫描控制及同步信号采集系统控制电子束扫描位置、扫描方式并进行信号同步采集;由电子束激发的阴极荧光信号采集装置高效率收集后,经由荧光信号传输系统送至光谱探测装置及荧光强度实时测量装置,分别形成荧光光谱及全谱荧光强度信号,所产生的信号同步送入信号分析及显示系统进行数据处理、分析及显示,不同扫描位置同相应位置处阴极荧光信号的一一对应,构成具有高空间分辨本领的静态阴极荧光系统。

       目前国内尚无阴极荧光系统制造商,本项目产品属于国产化产品第一家,在国家呼吁自主研发科学仪器大环境影响下,项目产品的目标市场将具有积极的成长潜力。

       本项目研发成功后,将成立产业化公司,项目成果将逐步投放市场。

静态阴极荧光系统原理示意图